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002008
| 首要装备 | ||
| 激光解键合 | AOI检测装备 | 裂片 |
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| 激光外部改质 硅MEMS 碳化硅 钽酸锂 | 激光切割 激光表切、全切 Molded WLP切割 刀轮切割 | 刀轮切割 |

操纵上风:
· 无崩缺、粉尘、芯片强度高、切割丧失小,品德杰出。
· 高精度视觉体系; 主动对位,主动寻焦;高紧密勾当平台。
· 划片速率快,大幅进步加工效力。
· 资料操纵率高,下降资料本钱。
