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SiC激光退火装备

SiC激光退火装备

产物特色 1.零件模块化设想与集成，兼容4、6、8英寸薄片晶圆；
2.集成自研成熟进步前辈激光整形手艺，光斑能量高度平均、不变；
3.退火后外表平均、平坦，优异的电学特点及外表描摹特点表现；
4.严酷节制腔体含氧量，有用节制外表碳析出量和散布；
5.设置装备摆设监控与弥补体系，监测光学能量不变性和非退火面温度；
6.装备EFEM传输体系，零件合适SEMI规范，撑持SECS-GEM通讯。

产物利用

合用于对重搀杂碳化硅（SiC）外表堆积的过渡金属停止退火，构成杰出的欧姆打仗。


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产物参数

可加工品圆尺寸
4inch、6inch、8inch
薄片退火撑持
光斑整形平顶光
光斑平均性>95%
能量不变性≤1%
比电阻打仗率≤5×10^(-5)Ω.cm²
外表温度Amnealedgurtece>1500℃.NOn=ann日ledsurlaco<100℃
腔体含氧量N2/Ar： 99.99%，<100ppm@25s
勾当平台精度

直线度：±1μm

反复定位精度：±1μm

品圆传输

Automatic transferring

(compatible to wafer or wafer/w carrier)


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