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DA100-A7 PRO

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产物特色 1、全新软硬件架构，无机差，加工参数分歧，品德有保证；
2、更简练的分手制程（少一个制程且无需倒膜），可应答200um厚度以下；
3、下CCD分辩率<1um，业内最高；尺寸精度更有保证；
4、8寸以下产物兼容，无需改换进级；
5、自研多光路体系，可切换差别光路达到高效加工；
6、全主动高低料，无人值守全主动运转；
7、具有主动涂胶、洗濯功效。

产物利用

利用范畴：

第三代半导体SiC晶圆激光外表烧蚀切割，利用于射频器件、功率器件（有功率二极管、功率三极管、晶闸管、MOSFET、IGBT）、新动力汽车、光伏发电、智能电网、轨道交通、射频通讯等范畴。


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