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全主动晶圆激光开槽装备

全主动晶圆激光开槽装备

产物特色 1.接纳特别定制的脉冲宽度激光加工，专为晶圆激光加工定制；
2.接纳超短脉冲宽度加工，有用进步切割线品德；
3.特别定制的脉冲宽度开槽后，热影响区<2um；
4.整合多种激光微加工手艺，切割效力和工艺窗口兼备；
5.多种惯例切割功效组合切换挑选；
6.接纳Mask+TOP-HAT光斑组合模组；
7.颠末优化的双光路加工模组；
8.接纳高精度视觉检测体系；
9.可兼容8英寸和12英寸；
10.主动高低料功效，无人值守全主动运转，批量化出产。

产物利用

利用规模：Lowk晶圆，GaN晶圆，非lowk晶圆

产物参数

首要参数加工尺寸8inch、12inch
加工速率100mm/s~600mm/s
加工精度≤±3μm
平台参数600mm*600mm
激光器参数532nm，25W
稼动率＞0.95


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