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HALO系列“二合一”PECVD

HALO系列“二合一”PECVD

产物特色 1.石墨舟电极手艺：前电极面打仗，可按期改换洗濯电极块，尾电极炉管外可调，加大电极尺寸及优化电极资料，杰出处置高频报警题目；
2.疾速降温炉体：接纳最新专利手艺，使炉体温度能够疾速降到所需温度，降温速度晋升25%以上，较着晋升炉管内温度平均性；
3.专利储舟位并行散热体例：晋升降温结果，延长降温时候15%以上，同时避开底部从操纵台后面进气，进步操纵台外部干净度；
4.石英管帮助吊装东西，大大下降装置和维修改换石英管的难度；
5.膜的致密性高于直接等离子体；
6.比ALD有更好的钝化结果。

产物利用

名目

手艺目标

成膜品种

AlO,SiO,SiON,SiN,SiC

装片量

768片/批(182mm),616片/批(210mm),500片/批(230mm)

氧化铝膜厚平均性

片内≤6%片间≤6%批间≤5%(182片)

氧化铝折射率

1.65(±0.05)

UP-TIME

≥98%

任务温度规模

100~600℃

温度节制

9点控温，表里双模节制

升温体例

主动斜率升温及疾速恒温功效

降温体例

最新专利手艺，9温辨别段节制主动降温炉体

恒温区精度及长度

±2°C/3200mm(500°C)

单点温度不变度

<±1°C/4h(500°C)

升温时候

RT→450℃≤45min

温度节制

双模切确节制

体系极限真空度

<3Pa

体系漏气率

停泵关阀后压力升率<1Pa/min

压力节制体例

疾速调剂全主动闭环

工艺节制体例

工艺进程全主动节制，多重宁静连锁报警

人机交互界面

LCD显现、触摸操纵、工艺编辑、在线监控、权限办理、班组办理、组网功效

MES/CCRM

具备


产物参数

合用于高效晶体硅PERC电池工艺进程中成长致密的氧化铝等背钝化薄膜资料，具备多种复合膜延续成长的特色。

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